半导体芯片废水处理工艺有哪些?
近年随着科技的一直提高和国民需求的日益增添,我国半导体消费行业得到了较快的开展,然而随之而来是少量的半导体废水排放问题。
(1)二级反映+一级助凝+一级积淀,体系出水氟离子浓度基础到达<Zomg÷L请求;若增添一级积淀,即用二级反映+积淀+一级反映+积淀的两阶段积淀反映,体系出水氟离子浓度可掌握在10mg/L以下。
(2)浓氨吹脱吸出工艺-含氟废水两阶段积淀工艺(含氟废水与CMP研磨废水混杂解决)一三级酸碱中和解决工艺。
(3)两级反映池、酸碱原液间接投加,运行出水不稳固且药剂消费量很大。
(4)反冲刷过滤器,是一种应用滤网间接阻拦水中的杂质,去除水体悬浮物、颗粒物,下降浊度,污染水质,增添体系污垢、菌藻、锈蚀等发生,以污染水质及掩护体系其余装备正常任务的装备。经反冲刷过滤器解决后的水质岂但到达了国度规则的废水排放规范,经反冲刷过滤器解决后的水源可反复、循环应用有效的节俭了水资源。
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